设备参数

全周期帧率(FPS

数据分辨率(百万像素)

中心物距(mm

标准视野范围(mm

标准景深(mm

Z轴重复精度(1σ)(um*1

H40

≤13.5

0.4

110

40x30

±10

1

H180

≤13.5

0.4

414

180x135

±45

3


*1以视野范围四角为测量基准面,使用盛相标准目标件,全景深范围内,25 个矩形区域*2高度差测量值的最大σ值(100 次)  

*2矩形的尺寸:标准视野范围 1/100 尺寸的区域


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